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GY603工業檢測顯微鏡配置表 | ||
主體 | 光學系統 | 無限遠光學系統 |
目鏡 | WF10X(22)·WF10x(25) | |
調焦系統 | 低手位同軸調焦機構 帶高度限位環、粗動松緊調整環及左右微動手輪互換機構 調焦范圍32mm,微調格值1um | |
反射照明 | 3WLED光源,亮度可調,光強記憶 | |
透射照明 | 3W LED光源,亮度可調,光強記憶 | |
目鏡筒 | 鉸鏈式三目觀察鏡筒,30度傾斜,瞳距47-78mm,正像; 目/攝(100/0,0/100); | |
物鏡轉換器 | 編碼六孔轉換器 | |
載物臺 | 大平臺6”×6”, 行程:160×160mm 可用于200毫米晶圓,可選試樣托架 | |
聚光鏡 | 透射照明配置聚光鏡 | |
觀察方法 | 明場,暗場,DIC,簡易偏光 |
GY603工業檢測顯微鏡配置表 | ||
主體 | 光學系統 | 無限遠光學系統 |
目鏡 | WF10X(22)·WF10x(25) | |
調焦系統 | 低手位同軸調焦機構 帶高度限位環、粗動松緊調整環及左右微動手輪互換機構 調焦范圍32mm,微調格值1um | |
反射照明 | 3WLED光源,亮度可調,光強記憶 | |
透射照明 | 3W LED光源,亮度可調,光強記憶 | |
目鏡筒 | 鉸鏈式三目觀察鏡筒,30度傾斜,瞳距47-78mm,正像; 目/攝(100/0,0/100); | |
物鏡轉換器 | 編碼六孔轉換器 | |
載物臺 | 大平臺6”×6”, 行程:160×160mm 可用于200毫米晶圓,可選試樣托架 | |
聚光鏡 | 透射照明配置聚光鏡 | |
觀察方法 | 明場,暗場,DIC,簡易偏光 |